RF-SOI：毫米波时代射频前端的Extreme答案？

射电望远镜方案可能就会建议地面站密度更大、传输距离相对较短，对传输频率的功率建议相对较高于，从而给的仪器尾部ROM日后应用软件PA等器件造成但他却，而这就会造成低价对RF-SOI薄层金属材料的须要要大大提高。”

从RF-SOI本身而言，随之的演化也使其具有了应对极高于级别终究的条件。在2G和3G的时代的的仪器控制器中都，广泛运用于的RF-SOI是HR-SOI（HR指极高于电阻率），这种薄层十分大降高于了电阻率负荷和串扰。

但是，HR-SOI局限性同样明显。当晶体管功率缩减时，在埋层氧化物（BOX）和HR薄层中间就会消除寄生电荷，其电阻率就会降高于，线性度也就会随之降高于，最终随之而来频率失真，这对于 5G 的时代的极高于应用软件基本功能并不一定是一个重大终究。要解决这个问题，就须要要在BOX和HR薄层中间转为工程层，其中都相关联极高于密度的电活性诡计。

这个工程层就是欣诡计层。Luis Andia认为，通过欣诡计层，须要要捕捉氧化埋层以及极高于电阻操作层中都游离的寄生电荷（parasitic charge）。这样必要了薄层有十分极高于的电阻率，进而造成极极高于的线性度，不均均是为晶体管，也有数其他的无源器件。

示意图 HR-SOI与RFeSI-SOI的对比（数据资料比如说：Soitec）

转为欣诡计层的RF-SOI有数RFeSI SOI和iFEM-SOI（两者区别于欣诡计层的厚度），均可以实现格内外极高于的线性度和封闭规范，使的设计人员须要要符合最严格的的仪器规范建议。

“由于欣诡计层能实现十分好的封闭，不管是数字频率还是模拟频率，即便是在这个十分复杂的5G 射电望远镜的仪器尾部，也须要要实现封闭，从而防止频率串扰。”Luis Andia问到。

示意图 在的汽车TCU中都的多的仪器子系统（源自Soitec）

封闭度缩减同时意味着RF-SOI转回了的汽车电子子系统，一个典型最简单就是的汽车中都的TCU（远程信息处理控制单元），其中都改用了多个基于RF-SOI的的仪器子系统。Luis Andia问到：“当代的汽车对于连接性的须要要和依赖过后性格内外极高于，不均要运用于蜂巢网络服务，也十分依赖V2X的连接，还要运用于专属的近距离无线无线通信，有数Wi-Fi、Wi-Fi等，而运用于RF-SOI就可以让几种并不相同的的仪器子系统在内部和谐共存。”

薄层和家电：零售业链的乃是

根据Gartner的数据资料，2020-2021年全球SOI低价规模略极高于于10亿美元，原计划今后5年将缩减到以上。RF-SOI迄今占有了其中都的6成，随着的仪器新新技术的随之进步，今后整体市场需求与市占率有望继续扩充。

如同水闸之于河一样，最上游的薄层金属材料和元件家电对零售业转型起到了至关关键的作用。近期的SOI薄层厂商主要有比利时Soitec、南韩信越(Shin-Etsu)、中都国台湾地区的环球元件、同为沪硅零售业子一些公司的上海新傲和芬兰Okmetic，以及南韩胜极高于(SUMCO)等。其中都，Soitec是并不一定的低价龙头，掌握了核心新新技术和主要低价比重。均在RF-SOI薄层低价，Soitec一些公司就拿走了70%的全球低价比重，可以供应8英寸和12英寸的RF-SOI薄层，信越一些公司和环球元件则紧随其后，分别排到RF-SOI薄层厂商的第二和第三名。

Luis Andia告知集微网，Soitec一直在不遗余力大大提高市场需求，“我们早先有2项新的市场需求大大提高计划，一个是地处比利时的200mm锗工新厂，目标是每年产出50万片；同时还有地处新加坡政府的年产100万片的300mmDRAM，可以应用于产出并不相同类型的优化薄层产品，比如RF-SOI和FD-SOI。”

据Soitec同类型的财报，其RF-SOI薄层的增长主要来自于12英寸薄层，可能就是新加坡政府工新厂市场需求过后放量。

国际间的SOI薄层在多年转型后也初具规模。据沪硅零售业部分人概述，新傲新技术和Okmetic均是国际8英寸及下述尺寸SOI太阳能电池的主要厂商之一，新新技术受制于全球先进水平。新傲新技术缺少了国际间迄今所须要的8英寸RF-SOI薄层，同时还在为国内外的主流Fab新厂装配供货。2022年，新傲新技术顺利完成200mm SOI产出线先期，市场需求由3万片/月大大提高至4万片/月，以格内外好地符合的仪器等应用低价须要要的过后下跌。

沪硅零售业部分人也认为，国际间迄今还无法12英寸SOI薄层的市场需求，新傲新技术的12英寸市场需求建设悄悄暂缓推进中都，国际间低价的须要要暂时由国内外薄层业者缺少。

在元件家电总体，格钢制、Tower Jazz（被Intel收购）、惠普、ST、联电、华虹宏力与中都钢制国际是主要厂商。据业内部分人概述，格钢制与Tower Jazz同属RF-SOI家电第一梯队，但Tower Jazz格内外胜一筹，其地处以色列、美国和南韩的DRAM均能支持近期主流金属材料，总市场需求格内外是排名第一。

相对而言，国际间的RF-SOI器件产出制造灵活性比国内外仍有严重不足，8英寸为数不多少量产品，且主要应用于高于端。

好消息是，国际间追赶的步伐悄悄加快。沪硅零售业部分人问到，“从2021年开始，国际间的好几家12英寸Fab新厂已开始样式12英寸的RF-SOI金属材料的平台，瞄准器55nm-65nm端口，旨在赶上国内外金属材料新新水准，迄今各金属材料的平台均在但游戏中都。”

结语

并不相同无线无线通信的融合悄悄加速，日后的仪器尾部的基本功能化视作21世纪，同时也造成两大终究：一是低温管理工作，二是不良影响。

对于前者，可以用能量密度格内外极高于的GaN来演化解，后者可以则可以用RFeSI和POI来应对。所以，RF-SOI足够杰出却不用包治百病，遭遇越来越复杂的的仪器子系统，只有多种新新技术相互补足，才能展现最完美的缺少商。

这就好比SOI同FinFET的关系一样，虽然没能视作先进金属材料的正选，但正是因为SOI的别样转型，才让More than Moore不是一句空话。（校对/李映）

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